| ITO导电玻璃镀膜设备 | | 发布日期：10-07-15 |
本镀膜设备是在优质浮法玻璃上采用真空磁控溅射技术、孪生阴极、中频溅射技术，并配以国际先进的控制系统，镀制SO2/ITO膜层，生产过程全部自动、连续进行。
主要组成部分
1 真空室：不锈钢制造，立式，外壁通冷却水，内衬不锈钢挡板
2 真空系统：可选扩散泵系统，蜗轮分子泵系统或低温泵系统
3 蒸发源：直流磁控溅靶和孪生阴极，中频磁控溅射靶，分别固定在真空室两例
4 工件烘烤：采用不锈钢管状加热器配合热板，确保基片加热均匀性
5 充气系统：气体质量流量计和压强自动控制仪
6 电气控制系统：触摸屏与PLC自动控制，人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与制
7 水冷系统：真空室冷却和阴极冷却，有水压保护开关和水湿开关
主要技术参数:
极限真空压力:7*10-4pa
平均生产周期:90秒/架
基片导尺寸:750*1200mm
总功率:350kw
直流磁控靶功率:20kw
中频磁控靶功率:10kw
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| | | 所属地区：广东东莞 | | 公司规模：301 - 500人 | | 成立时间：2006年 | | 经营模式：生产型 | | 所属行业：大岭山镇颜屋管理区 | |
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