CMP抛光机(EJW-460I/2CMP)是特别用在CMP工程中以提高化学抛光技术指标的专业设备，是高压对应型8英寸晶片两轴同时研磨的系统。
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规格：
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研磨定盘直径
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Φ460mm |
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对应晶片
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Φ8英寸晶片2磁头式 |
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晶片固定
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真空吸盘式 |
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定盘转速
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最在100r.p.m. |
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功率
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2.2Kw 3相 200V |
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加压装置
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空气式80kg/轴(实际读入电压) |
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强制驱动
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~60r.p.m.(马达-400w) |
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转动装置
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~30r.p.m.(马达-400w) |
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加工控制器
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台式控制器（载重/转速） |
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电源
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200VAC 3相联系30A |
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压缩空气
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0.4MPa(4Kgf/cm2) |
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机器尺寸
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1800mm*1000mm*1800mmH |
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可选装置:
销卡盘式真空治具
多孔卡盘式直空治盘
水粘模板式固定治具 |
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EJ-200IN桌面式单面研磨机组 桌上型镜面抛光机并不只是针对测试加工或是少量研磨抛光加工的机型，而是能够达成精密镜面抛光加工之小型化多功能机型。喷雾控制器、搅拌器、抛光液点滴器及防尘盖为自行选配，并可联线控制，轻易地成为自动化精密镜面研磨抛光的设备。
选件：
自动喷雾器（MINIMISER）
自动搅拌器（Autostirrer）
防尘保护罩
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| 型 号 |
EJ-200IN |
| 研磨盘尺寸（外径*内径mm） |
200*30 |
| 陶瓷修整轮（外径*内径mm） |
98*79（3组） |
| 驱动马达 |
20w 100V |
| 回转数 |
0-220 |
| 设定时间 |
99min59sec |
| 机组尺寸（mm) |
360宽*640深*590高 |
| 机组重量（kg） |
28 |
EJW-610E-3AL单面研磨抛光机组 ENGIS设计及生产的大型座地式单面研磨/抛光机组，适合于工业用密封无件、陶瓷器件、不同的金属元件、半导体元件、蓝宝石及碳化硅类等先进物料的研磨/抛光工作。并可提供不同力度的气动压力装置配合不同研磨/抛光工艺以提高生产效率。
选件：
● 气动压力装置
● 修面装置
● 冷冻水循环装置
● 不同规格载物盘
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规格：
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机型
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24英寸
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28英寸
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36英寸
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48英寸
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型 号
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EJW-610E-3AL
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EJW-710E-3AL
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EJW-910E-3AL
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EJW-1200E-3AL
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| 研磨盘尺寸(外径*内径mm) |
610*210 |
710*210 |
910*210 |
1200*400 |
| 修整轮尺寸(外径*内径mm) |
286*250 |
360*322 |
430*382 |
500*452 |
| 驱动马达功率 |
2.2kw 200V 3相 |
3.7kw 200V 3相 |
7.5kw 200V 3相 |
11kw 200V 3相 |
| 转速(rpm) |
0-80（可调） |
0-80（可调） |
0-80（可调） |
0-80（可调） |
| 气动装置 |
最多3组 |
最多3组 |
最多3组 |
最多3组 |
| 气动压力(kg) |
最大130 |
最大130 |
最大200 |
最大300 |
| 机组尺寸(mm) |
1500*900*2100高 |
1500*900*2100高 |
1800*1500*2200高 |
2200*2000*2300高 |
| 机组重量(kg) |
1300 |
1400 |
3000 |
4500 |
小型通用内面研磨机[STG-3N]
主要特点：
■采用装载了高精度高周波主轴的专业机械。实现通用的高精度。
■根据以往的销售业绩（顾客的意见）、提高了更好的操作性能。
产品示意图（实际产品图片以设备下线为准！）
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小型通用内面研磨机[STG-3N]
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以前设备(旧STG机器）
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◆ 操作性：NC化（数字化）/触摸屏控制面板
◆ 同旧机器相比，其ST延长
◆ 装载SP：H系列（M8H/M11H/M15H）
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【新开发磨床（研磨机）介绍】：
1.机种：小型通用内面研磨机STG-3N 与 旧STG机器的比较（请参照下表参数）
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STG-3N |
STG-3 |
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| 加工工件 |
孔径×长(mm) |
0.3~15φ×max25 |
← |
同旧机器 |
| 主 轴 |
转速(min-1) |
0~2000 |
300~2000(用传送带交换) |
| 工作台的震动 |
0~50°(可达到-20°) |
← |
| 卡盘 |
夹头卡盘 |
maxφ8mm(I-12-1) |
← |
| 卷形卡盘 |
3inch/4inch |
← |
| 面板样式 |
面板外径φ125mm |
← |
| 防水套 |
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有 |
无 |
安全性↗ |
| 砥石台 |
砥石安全罩 |
有 |
无 |
| 主轴台桌 |
冲程(mm) |
120（前80/后40mm)
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1.5 |
作业性↗
保护性↗ |
| 润滑 |
无供给油(LM向导&滚珠丝杠) |
润滑油 |
| 砥石台桌 |
冲程(mm) |
160 |
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| 往复式运转 |
* |
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| 润滑 |
无供给油(LM向导&滚珠丝杠) |
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| 主轴 |
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M15H/M11H/M8H |
M10-S/M15-S |
高能率↗ |
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润滑油SP(max65000min-1) |
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| 其他 |
操作性 |
液晶面板 |
按钮&电灯 |
操作性 |
| 控制 |
NC |
手动调整 |
2.开发完成上市时间：2009年5月
3.用途：小径工作内面研磨
4.加工对象：夹头、小径金属模具部品等
加工工件实例：
本次针对用户提出的要求,开发的机器具备的特征：装载了高速、高精度的高周波主轴，这是其他的公司做不出来小径小物件工作的内径研磨。其他公司机器所装载的主轴为60,000rpm（没有传动带），满足不了加工小径物品的需求。
关于这一点，本次研发的机器，最高的转速为200,000rpm（内置马达发动机）且装载高周波主轴，具有很强的生产性，且可以达到高精度加工要求。
****** 实现技术和对应适用性的前沿独创设备制造。******
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